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地址:苏州市高新区大同路20号三区3号2幢厂房二楼
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项名 |
内容 |
精度指标 |
光学解析度 |
6μm (6微米) |
CCD尺寸 |
3072*2048(像素),600 万像素 1/1.8"靶面 |
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像元尺寸 |
2.4 µm×2.4 µm |
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CCD帧率 |
17 fps |
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FOV |
18.4mm * 12.2mm |
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检测精度 |
30μm (30微米,约为光学解析度的5倍) |
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缺陷可检最小宽度 |
30μm (0.03mm) |
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缺陷可检最小面积 |
0.0009mm²(平方毫米) |
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